Reinraum

Klasse 1000, Nutzfläche ca. 100 m2

• Aufdampfanlagen
• Ionenstrahlätzanlage
• Plasmaätzanlage
• Oxidationsanlage
• Reaktive Ionenätzanlage
• Wetbenches
  • Lackschleuder
  • Trockenöfen
• Maskenbelichtungsanlage
• Oberflächenprofilometer
• Kritischer Punkttrockner
  • Nassätzen von NEMS-Strukturen
• FE-Rasterelektronenmikroskop (in Planung)

Chemie/Biologie

• Biophysik
• Makromolekulare Präparation
• Ultrazentrifugen
• Ultraschall-Homogenisator
• Handschuhbox
• Filmwaage

Optische Untersuchungen

• Fluoreszenzmikroskope
• Lumineszenzmessplätze

Strukturuntersuchungen

• Röntgendiffraktometer
• Transmissionselektronenmikroskop (TEM)

Thermische Analyse

• Differentialkalorimeter (DSC)
• Hochtemperatur-DSC (SETARAM)

Mechanische Eigenschaften

• Materialprüfmaschinen
  • Instron
  • Zwick
• Härteprüfer

Magnetische Untersuchungen

• Tieftemperaturmessplätze
• Kerrmessplatz
• Förstersonde

Probenpräparation

• Lichtbogenofen
• Kugelmühle
• Handschuhbox
• Walze
• Ionen-Poliersystem
• Elektrolytische Dünnung
• Mechanische Dünnung

Hochfrequenzmessplätze

Frequenzen bis 20 GHz

• Abschirmkabine

Mikrofluidikmessplätze

• Videomikroskope
• PC-gesteuerte 3-Achsen Fräsmaschine zur Herstellung fluidischer Kleinteile