Die nachfolgende Tabelle bietet eine Übersicht der Messmethoden, die dem ELMICAU zur Verfügung stehen. Angegeben ist ebenfalls die beste erreichbare Auflösung der jeweiligen Technik.

 

	elemental composition		morphology		surface topology	magnetic structure	chemical map	crystalline structure	special
	2D	3D	2D	3D
TEM imaging			< 0.1 nm						strain/stress
TEM/STEM diffraction								< 1 nm
TEM Lorentz mode						< 10 nm
HAADF (STEM)			< 0.1 nm
EELS (TEM/STEM)	< 0.1 nm						< 0.1 nm
EDX (TEM/STEM)	< 0.1 nm
HRSTEM imaging			< 0.1 nm					< 0.1 nm
DPC (STEM)						< 10 nm			E-fields:  < 0,1 nm
Lorentz-STEM (Cs-corrected)						< 1 nm
SE (SEM)					< 5 nm				large-scale images possible
BSE (SEM)	< 10 nm
EDX (SEM)	< 50 nm
EBSD (SEM)								< 20 nm	grain orientation
Auger (AES)	< 5 nm
TEM/STEM tomography		< 10 nm		< 10 nm
FIB tomography		< 100 nm		< 100 nm
Auger tomography		< 5 nm		< 5 nm

 

                Elemental composition: Unterscheidung verschiedener Elemente.

                Morphology: der physikalische Aufbau der Probe, also granulär, einkristallin, amorph, etc.

                Surface topology: die Struktur der Probenoberfläche.

                Magnetic structure: magnetische Domänen oder Domänenwände, Spinstrukturen wie Vortices oder Skyrmionen.

                Chemical map: Unterscheidung nach Element und chemischem Zustand, z.B. Oxidationszahl.

                Crystalline structure: Bravaisgitter und Gitterkonstanten.

 

Diese Tabelle kann genutzt werden, um eine passende Messtechnik zu einer Fragestellung bezüglich bestimmter Eigenschaften einer Probe zu finden. Allerdings ist sie nicht allumfassend, daher ist eine Konversation mit dem professionellen ELMICAU-Team der beste Weg, die richtige Technik für Ihre Situation zu finden.